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Handbook of Plasma Processing Technology: Fundamental, Etching, Deposition and Surface Interactions 著者: Rossnagel, Stephen M.; Westwood, William D.; Cuomo, Jerome J. 出版 William Andrew Publishing. 以下のデジタルおよびeTextbook ISBNs: Handbook of Plasma Processing Technology: Fundamental, Etching, Deposition and Surface Interactions : 9780815512202, 9780815517641, 0815517645 および 印刷版のISBNは 9780815512202, 0815512201. VitalSource でデジタル化することで、印刷に比べて最大 80% 節約できます。