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MEMS in der Mikrosystemtechnik: Aufbau, Wirkprinzipien, Herstellung und Praxiseinsatz mikroelektromechanischer Schaltungen und Sensorsysteme 著者: Markus Glück 出版 Vieweg+Teubner Verlag. 以下のデジタルおよびeTextbook ISBNs: MEMS in der Mikrosystemtechnik : 9783663107781, 3663107787 および 印刷版のISBNは 9783519005209, 3519005204. VitalSource でデジタル化することで、印刷に比べて最大 80% 節約できます。
