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Semiconductor Lithography: Principles, Practices, and Materials 著者: Wayne M. Moreau 出版 Springer. 以下のデジタルおよびeTextbook ISBNs: Semiconductor Lithography : 9781461308850, 1461308852 および 印刷版のISBNは 9781461282280, 1461282284. VitalSource でデジタル化することで、印刷に比べて最大 80% 節約できます。 この eTextbook の追加の ISBN には次のものがあります: 9780306421853.