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Silicon Devices and Process Integration: Deep Submicron and Nano-Scale Technologies 著者: Badih El-Kareh 出版 Springer. 以下のデジタルおよびeTextbook ISBNs: Silicon Devices and Process Integration : 9780387690100, 0387690107 および 印刷版のISBNは 9780387367989, 0387367985. VitalSource でデジタル化することで、印刷に比べて最大 80% 節約できます。
